Select Language

English

 

HALFGELEIDERINDUSTRIE

INNOVATIES VOOR

DE TOEKOMST

Drijvende kracht achter onze

digitale transformatie

De halfgeleiderindustrie, ook wel bekend als de chipindustrie, is een van de meest dynamische en innovatieve sectoren in de wereld. Het is de motor achter de digitale transformatie van onze samenleving en economie. Van smartphones tot zelfrijdende auto’s, van kunstmatige intelligentie tot duurzame energie: zonder halfgeleiders is dat allemaal niet mogelijk. Daarnaast is het een van de meest competitieve en veeleisende sectoren, met de Wet van Moore als drijvende kracht. Met de opkomst van nieuwe theorieën als ‘More Moore’ en ‘More than Moore’ – waarbij chiparchitecturen nog complexer en kleiner worden en systeemintegratie een vlucht neemt – zijn de grenzen zijn nog niet bereikt. In tegendeel! Er is een constante behoefte aan nieuwe technologieën, materialen en processen: om het energieverbruik en de productiekosten te verlagen en de grenzen van het maakbare te verleggen. VDL ETG bereidt zich dan ook voor op verdere wereldwijde groei, zowel in productie- als designcapaciteit.

De toenemende complexiteit en miniaturisatie van halfgeleiders zorgen ervoor dat de telkens strenger wordende reinheidseisen een grote uitdaging vormen voor de industrie. Door onderzoek te doen naar hoe verontreinigingen ontstaan, bewegen en neerslaan, vinden we manieren om te voorkomen dat ze op cruciale plekken terechtkomen.

Drijvende kracht achter onze

digitale transformatie

De halfgeleiderindustrie is een van de meest dynamische en innovatieve sectoren in de wereld. Het is de motor achter de digitale transformatie van onze samenleving en economie. Van smartphones tot zelfrijdende auto’s, van kunstmatige intelligentie tot duurzame energie: zonder halfgeleiders is dat allemaal niet mogelijk. VDL ETG bereidt zich dan ook voor op verdere wereldwijde groei, zowel in productie- als designcapaciteit.

De telkens strenger wordende reinheidseisen vormen een grote uitdaging voor de industrie. Door onderzoek te doen naar hoe verontreinigingen ontstaan, bewegen en neerslaan, vinden we manieren om te voorkomen dat ze op cruciale plekken terechtkomen.

Onze module 

CUTTING-EDGE TECHNOLOGIE

Ben je benieuwd naar de technologie achter de nieuwste elektronische producten, zoals smartphones en zelfrijdende auto’s? Dan wil je meer weten over de Wafer Handler. Deze module is de eerste stap van het belichtingsproces, een belangrijk onderdeel in de chipproductie. Hierbij worden wafers, waarop de chips worden opgebouwd, veilig en nauwkeurig verplaatst. Het bestaat uit duizenden onderdelen, waarvan de meest complexe door ons worden ontwikkeld, geproduceerd, geassembleerd, getest en gekwalificeerd.  

De Wafer Handler biedt precisie, snelheid en betrouwbaarheid zonder concessies te doen aan de stabiliteit. De wafer wordt gepositioneerd met een precisie die twee keer zo dun is als een mensenhaar, terwijl de temperatuur aan het einde van het proces slechts een paar duizendste van een graad varieert. Dankzij geavanceerde grijpsystemen wordt de wafer zo schoon mogelijk doorgegeven en contaminatie tot een minimum beperkt. En wist je dat er door onze module elke 10 seconden een nieuwe wafer beschikbaar is? Met dit technische hoogstandje spelen we in op de huidige en toekomstige technologieën!

Onze methoden

HET ONTSTAAN VAN DEELTJES

Zelfs de kleinste verontreinigingen kunnen een enorme impact hebben op producten zoals de Wafer Handler. Als module in de chipmachine die de wafers het meest aanraakt, is contaminatieonderzoek essentieel. We onderzoeken o.a. hoe ze ontstaan: bijvoorbeeld door slijtage van materialen op zowel macro- als microniveau te meten. 

Een voorbeeld daarvan is onze Particle Component Test: een unieke tool die slijtage op macroniveau meet. Hiermee kunnen we bepalen hoeveel verontreiniging onze modules genereren. Maar daar houdt het niet op: met een nieuw rekenmodel simuleren we op microniveau de complexe vervormingen die ontstaan wanneer moleculaire bindingen binnen een materiaal verbreken als ze te zwaar belast worden. Deze methode is nauwkeuriger dan andere rekenmodellen en houdt ook rekening met het materiaalgedrag. Dit onderzoek helpt ons om ontwerprichtlijnen te bepalen voor bijvoorbeeld de grijpsystemen van de Wafer Handler, waarmee wij deze systemen schoner kunnen ontwerpen en bouwen.

Onze methoden

DEELTJESTRANSPORT

De steeds strenger wordende reinheidseisen vormen een grote uitdaging voor de industrie. Om de prestaties en betrouwbaarheid van producten zoals de Wafer Handler te garanderen doen we ook onderzoek naar de stroming en neerslag van deeltjesverontreinigingen. We proberen de stroming van lucht en deeltjes op verschillende manieren te analyseren en optimaliseren. Een van de methoden die we daarvoor toepassen is Particle Imaging Velocimetry (PIV). Met deze optische meettechniek kunnen we stromingspatronen en turbulenties in onze ontwerpen visualiseren en analyseren.

In onze GLOW-testopstelling maken we deeltjesstromen zichtbaar door rookachtige deeltjes met een ventilator door of langs een product te blazen. Vervolgens laat een laser deze oplichten, zodat we de stroming met camera’s kunnen analyseren en calculeren. Hierbij kunnen we ook testen hoe bewegende onderdelen de stroming beïnvloeden: wat gebeurt er bijvoorbeeld als een grijpsysteem door de ruimte beweegt? Dit helpt ons om onze ontwerpen beter en efficiënter te maken.

Onze methoden

DEELTJESVERWIJDERING

De wereld om ons heen zit vol stof en deeltjes die onze producten – en die van onze klanten – beïnvloeden. Bij VDL ETG onderzoeken we niet alleen het ontstaan, de stroming en de neerslag van deeltjes, maar ook manieren om te voorkomen dat deze op kritische onderdelen terechtkomen. Om contaminatie bij de bron te beheersen, hebben wij de Plasma Seal ontwikkeld: een innovatief systeem dat wordt toegepast in gevoelige systemen die wafers verplaatsen. Hiermee kunnen we verontreinigende deeltjes in een gasvormige toestand brengen, een elektrische lading geven en vervolgens – met behulp van elektrische velden, luchtstromen of de zwaartekracht – gecontroleerd sturen en verwijderen. Zo kunnen onze klanten gemakkelijker aan hun reinheidseisen voldoen.

De Plasma Seal zelf heeft ook een uniek, schoon ontwerp, waarbij de motor niet in de robotarm maar onder de machine zit. Ook heeft de machine speciale magnetische geleidewieltjes die de robotarm niet raken. Daarmee voorkomen we dat er stofdeeltjes vrijkomen als gevolg van slijtage. 

Wafer Handler
Particle Component Test
GLOW-testopstelling
Particle Removal

Onze module 

CUTTING-EDGE TECHNOLOGIE

Ben je benieuwd naar de technologie achter de nieuwste elektronische producten, zoals smartphones en zelfrijdende auto’s? Dan wil je meer weten over de Wafer Handler. Deze module is de eerste stap van het belichtingsproces, een belangrijk onderdeel in de chipproductie. Hierbij worden wafers, waarop de chips worden opgebouwd, veilig en nauwkeurig verplaatst. Het bestaat uit duizenden onderdelen, waarvan de meest complexe door ons worden ontwikkeld, geproduceerd, geassembleerd, getest en gekwalificeerd.  

De Wafer Handler biedt precisie, snelheid en betrouwbaarheid zonder concessies te doen aan de stabiliteit. De wafer wordt gepositioneerd met een precisie die twee keer zo dun is als een mensenhaar, terwijl de temperatuur aan het einde van het proces slechts een paar duizendste van een graad varieert. Dankzij geavanceerde grijpsystemen wordt de wafer zo schoon mogelijk doorgegeven en contaminatie tot een minimum beperkt. En wist je dat er door onze module elke 10 seconden een nieuwe wafer beschikbaar is? Met dit technische hoogstandje spelen we in op de huidige en toekomstige technologieën!

Onze methoden

HET ONTSTAAN VAN DEELTJES

Zelfs de kleinste verontreinigingen kunnen een enorme impact hebben op producten zoals de Wafer Handler. Als module in de chipmachine die de wafers het meest aanraakt, is contaminatieonderzoek essentieel. We onderzoeken o.a. hoe ze ontstaan: bijvoorbeeld door slijtage van materialen op zowel macro- als microniveau te meten. 

Een voorbeeld daarvan is onze Particle Component Test: een unieke tool die slijtage op macroniveau meet. Hiermee kunnen we bepalen hoeveel verontreiniging onze modules genereren. Maar daar houdt het niet bij op: met een nieuw rekenmodel simuleren we op microniveau de complexe vervormingen die ontstaan wanneer moleculaire bindingen binnen een materiaal verbreken als ze te zwaar belast worden. Deze methode is nauwkeuriger dan andere rekenmodellen en houdt ook rekening met het materiaalgedrag. Dit onderzoek helpt ons om ontwerprichtlijnen te bepalen voor bijvoorbeeld de grijpsystemen van de Wafer Handler, waarmee wij deze systemen schoner kunnen ontwerpen en bouwen.

Onze methoden

DEELTJES-
TRANSPORT

De steeds strenger wordende reinheidseisen vormen een grote uitdaging voor de industrie. Om de prestaties en betrouwbaarheid van producten zoals de Wafer Handler te garanderen, doen we ook onderzoek naar de stroming en neerslag van deeltjesverontreinigingen. We proberen de stroming van lucht en deeltjes op verschillende manieren te analyseren en optimaliseren. Een van de methoden die we daarvoor toepassen, is Particle Imaging Velocimetry (PIV). Met deze optische meettechniek kunnen we stromingspatronen en turbulenties in onze ontwerpen visualiseren en analyseren.

In onze GLOW-testopstelling maken we deeltjesstromen zichtbaar door rookachtige deeltjes met een ventilator door of langs een product te blazen. Vervolgens laat een laser deze oplichten, zodat we de stroming met camera’s kunnen analyseren en calculeren. Hierbij kunnen we ook testen hoe bewegende onderdelen de stroming beïnvloeden: wat gebeurt er bijvoorbeeld als een grijpsysteem door de ruimte beweegt? Dit helpt ons om onze ontwerpen beter en efficiënter te maken.

Onze methoden

DEELTJES-VERWIJDERING

De wereld om ons heen zit vol stof en deeltjes die onze producten – en die van onze klanten – beïnvloeden. Bij VDL ETG onderzoeken we niet alleen het ontstaan, de stroming en de neerslag van deeltjes, maar ook manieren om te voorkomen dat deze op kritische onderdelen terechtkomen. Om contaminatie bij de bron te beheersen, hebben wij de Plasma Seal ontwikkeld: een innovatief systeem dat wordt toegepast in gevoelige systemen die wafers verplaatsen. Hiermee kunnen we verontreinigende deeltjes in een gasvormige toestand brengen, een elektrische lading geven en vervolgens – met behulp van elektrische velden, luchtstromen of de zwaartekracht – gecontroleerd sturen en verwijderen. Zo kunnen onze klanten gemakkelijker aan hun reinheidseisen voldoen.

De Plasma Seal zelf heeft ook een uniek, schoon ontwerp, waarbij de motor niet in de robotarm maar onder de machine zit. Ook heeft de machine speciale magnetische geleidewieltjes die de robotarm niet raken. Daarmee voorkomen we dat er stofdeeltjes vrijkomen als gevolg van slijtage. 

Wereldwijde

SAMENWERKING 

In de halfgeleiderindustrie komen talrijke complexe processen en kostbare geavanceerde apparatuur samen. Veel bedrijven die aan deze industrie leveren zijn klant van VDL ETG. Met één daarvan een producent van fotolithografische apparatuur, werken we al decennialang zeer intensief samen om modules en systemen voor hun apparatuur te ontwerpen en te realiseren. Daarnaast werken we samen met verschillende klanten die apparatuur leveren voor complexe halfgeleiderprocessen zoals depositie (CVD/PVD), metrologie en inspectie.

Wereldwijde

SAMENWERKING 

In de halfgeleiderindustrie komen talrijke complexe processen en kostbare, geavanceerde apparatuur samen. Veel bedrijven die aan deze industrie leveren, zijn klant van VDL ETG. Met een daarvan, een producent van fotolithografische apparatuur, werken we al decennialang zeer intensief samen om modules en systemen voor hun apparatuur te ontwerpen en te realiseren. Daarnaast werken we samen met verschillende klanten die apparatuur leveren voor complexe halfgeleiderprocessen zoals depositie (CVD/PVD), metrologie en inspectie.

De technologie

VAN morgen

Onze betrokkenheid strekt zich uit van de kleinste deeltjes op aarde, in de deeltjesversneller van CERN, tot de uitgestrektheid van het universum, met de spiegels van de grootste telescoop ter wereld in Chili – én alles daartussenin.

Analytische industrie

Analytische industrie

Meer info
Medische industrie

Medische industrie

Meer info
Wetenschap & industrie

Wetenschap & industrie

Meer info

De technologie

VAN morgen

Onze betrokkenheid strekt zich uit van de kleinste deeltjes op aarde, in de deeltjesversneller van CERN, tot de uitgestrektheid van het universum, met de spiegels van de grootste telescoop ter wereld in Chili – én alles daartussenin.

Pijl-bullet-point.png Analytische industrie;

Pijl-bullet-point.png Medische industrie;

Pijl-bullet-point.png Wetenschap en industrie.